Search Result of "ALD"

About 19 results
Img

งานวิจัย

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น ชื่อทุนสมทบเพื่อเสริมสร้างความเป็นเลิศ (2019)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา
Img

งานวิจัย

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น (2017)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ผู้ร่วมโครงการ:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

ผลลัพธ์:วารสาร (2) ประชุมวิชาการ (2)

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Comparison of H2O2 and H2O oxidations on TDMAT absorbed on silicon(100) surface during reaction step of ALD–TiO2 process: A DFT study

ผู้แต่ง:ImgDr.TANABAT PROMJUN, ImgMr.Montri Phothisonothai, Assistant Professor, ImgDr.Worasitti Sriboon, Lecturer, ImgMr.SAKSIT SUKPRASONG, Assistant Professor, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2?1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgSeckson Sukhasena, ImgPoramate Chunpang,

วารสาร:
Img

การประชุมวิชาการ

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2x1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง, Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา,

การประชุมวิชาการ:
Img

การประชุมวิชาการ

The dissection of OsBADH1 from rice (Oryza sativa) for substrate specificity

ผู้แต่ง:ImgKultida Jiamsomboon, ImgDr.Nonlawat Boonyalai, Assistant Professor,

การประชุมวิชาการ:

Img Img

Img

รางวัล (ประชุมวิชาการ)

รางวัลดีเด่นการนำเสนอผลงานวิจัยแบบบรรยาย (2018)

ผลงาน:The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2x1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

นักวิจัย: Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์ Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา

Doner:มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
Img

Researcher

ดร. ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:Ultra-High Vacuum, Physics of Vacuum and Vacuum Technology, Physics of Thin Film and Thin Film Technology, Plasma Processing and Plasma Technology, Semiconductor Processing, Atomic layer deposition and Sputtering Process , Surface Chemistry, Materials for medical applications, Renewable Energy, Simulation for Gas adsorbed Surface, High Quality Thin Films

Resume
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgK. Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of HfO2 using tetrakis(ethylmethylamino)hafnium and remote plasma-excited oxidizing agents

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgHisashi Ohba, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Remote-Plasma Source Investigated by IR Absorption Spectroscopy

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgHisashi Ohba, ImgBashir Ahmmad ARIMA, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Growth kinetics for temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using trimethylgallium and remote-plasma-excited NH3

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgMasanori Muira, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Electronic nose for toxic gas detection based on photostimulated core–shell nanowires

ผู้แต่ง:ImgDr.Chatchawal Wongchoosuk, Associate Professor, Img K. Subannajui, ImgC. Wang, Img Y. Yang, Img F. G?der, ImgT. Kerdcharoen, Img V. Cimalla, Img M. Zacharias,

วารสาร:

Img Img Img Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Computational Prediction of Trimethylgallium Adsorption on Si(100)(2x1) in Atomic Layer Deposition

ผู้แต่ง:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img

Img

ที่มา:คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ (Preproposal Research Fund)

หัวเรื่อง:การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-shell ลวดนาโนโดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์
Img

ที่มา:สำนักงานกองทุนสนับสนุนการวิจัย

หัวเรื่อง:การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-shell ลวดนาโนโดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์
Img

การประชุมวิชาการ

Novel Fabrication of 1-D nanostructured Gas Sensors for Toxic Gas Detection

ผู้แต่ง:ImgDr.Chatchawal Wongchoosuk, Associate Professor, ImgA. Wisitsoraat , ImgD. Phokharatkul, ImgM. Horprathum, ImgA. Tuantranont, ImgT. Kerdcharoen, ImgK. Subannajui, ImgY. Yang, ImgC. Wang, ImgF. G?der, ImgM. Zacharias,

การประชุมวิชาการ:

Img Img Img Img

Img

การประชุมวิชาการ

การทำนายลักษณะเฉพาะของแก๊สแกลเลียมคลอไรด์ที่ถูกดูดซับในการปลูกฟิล์มบางแกลเลียมออกไซด์ด้วยวิธีอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น (2018)

ผู้แต่ง:ImgDr.TANABAT PROMJUN, Imgนาวสาวครองขวัญ ยศกุณา, Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา, Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

การประชุมวิชาการ:
Img

Researcher

ดร. ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์

สาขาที่สนใจ:Nanotechnology, Gas Sensor, Intelligent Devices, Flexible Electronics, Printed Electronics, Smart Sensors for Food and Agriculture, IoT Sensors, Environment Monitoring

Resume