Journal

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor
Applied Surface Science (ISSN: 01694332)
308
-
328-332
พฤษภาคม 2014
นานาชาติ
-
-
10.1016/j.apsusc.2014.04.166
-

Author