Conference

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2x1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure
การประชุมวิชาการระดับชาติ "วิทยาศาสตร์วิจัย" ครั้งที่ 10 (ISBN: 9789741960248)
ชาติ
24 - 25 พฤษภาคม 2018
กันทรวิจัย มหาสารคาม ประเทศไทย
-
-

Author

Output From Project

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น