Journal

Article

Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Remote-Plasma Source Investigated by IR Absorption Spectroscopy

Journal

IEICE TRANSACTIONS on Electronics (ISSN: 18810217)

Volume

J98-C

Issue

1

Year

มกราคม 2015

Page

1-7

Class

นานาชาติ

DOI

-

Related Link

-

Author