Journal

Computational Prediction of Trimethylgallium Adsorption on Si(100)(2x1) in Atomic Layer Deposition
Key Engineering Materials (ISSN: 10139826)
759
1
43-47
สิงหาคม 2017
นานาชาติ
-
-
-
-

Author

Output From Project

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น