Journal

Article
Why are hydrogen ions best for MeV ion beam lithography?
Journal
MICROELECTRONIC ENGINEERING (ISSN: 01679317)
Volume
102
Issue
-
Year
กุมภาพันธ์ 2013
Page
22-24
Class
นานาชาติ
DOI
10.1016/j.mee.2012.02.012
Related Link
-