Search Result of "Si(100)(2?1)"

About 7 results
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Nitrogen Adsorption of Si(100) Surface by Plasma Excited Ammonia

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2?1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgSeckson Sukhasena, ImgPoramate Chunpang,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Computational Prediction of Trimethylgallium Adsorption on Si(100)(2x1) in Atomic Layer Deposition

ผู้แต่ง:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img

Img

การประชุมวิชาการ

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2x1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง, Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา,

การประชุมวิชาการ:
Img

รางวัล (ประชุมวิชาการ)

รางวัลดีเด่นการนำเสนอผลงานวิจัยแบบบรรยาย (2018)

ผลงาน:The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2x1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

นักวิจัย: Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์ Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา

Doner:มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
Img

งานวิจัย

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น (2017)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ผู้ร่วมโครงการ:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

ผลลัพธ์:วารสาร (2) ประชุมวิชาการ (2)

Img

Researcher

ดร. ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:Ultra-High Vacuum, Physics of Vacuum and Vacuum Technology, Physics of Thin Film and Thin Film Technology, Plasma Processing and Plasma Technology, Semiconductor Processing, Atomic layer deposition and Sputtering Process , Surface Chemistry, Materials for medical applications, Renewable Energy, Simulation for Gas adsorbed Surface, High Quality Thin Films

Resume