Search Result of "ITO thin films"

About 4 results
Img
Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Effect of Films Thickness on the Properties of ITO Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation)

ผู้เขียน:ImgArtorn Pokaipisit, ImgMati Horprathum, Imgพิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

Indium tin oxide (ITO) thin films were prepared on glass slide substrates at various thicknesses by electron beam evaporation (e-beam) from a tablet of In2O3 and SnO2 (9:1). The ITO thin films were fabricated at substrate temperatures of 150 ?C, deposition rate of 2 ?/s and oxygen flow rate of 12 sccm. The structure, surface morphology, electrical and optical properties of ITO thin films were investigated. The structure and surface morphology of films were monitored by using X–ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM), respectively. The optical transmittance and sheet resistance of ITO thin films were measured by spectrophotometer and four-point probe. It was found that transmittance and sheet resistance of ITO thin films on glass slide decreased as film thickness increased from 200 nm to 700 nm. The transmittance spectra in the visible region (400-700 nm) and the sheet resistance decreased from 76.63% to 57.89% and from 16 ?/sq. to 4 ?/sq., respectively, with increasing the films thickness.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 041, Issue 5, Jan 07 - Dec 07, Page 255 - 261 |  PDF |  Page 

Img

Researcher

นาย วรสิทธิ ศรีบุญ, อาจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:พลังงานทดแทนและการจัดการพลังงาน, อุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อนและการถ่ายเทความร้อน, แบบจำลองทางคณิตศาสตร์

Resume

Img

Researcher

ดร. วิเชียร ศิริพรม, อาจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

Resume