Search Result of "Dc magnetron sputtering"

About 21 results
Img
Img
Img
Img
Img
Img
Img
Img

ที่มา:การประชุมวิชาการ วิทยาศาสตร์วิจัย ครั้งที่ 3

หัวเรื่อง:สมบัติทางไฟฟ้าและแสงของฟิล์มบางเงินที่เตรียมบนแผ่นกระจกรองรับด้วยเทคนิค ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง

Img

ที่มา:Siam Physics Congress SPC2011

หัวเรื่อง:Effect of Sputtering Power on Photocatalytic Properties of TiO2 Thin Film Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Fabrication of High-Performance Silver-Based Transparent- Electrode Films on ITO Multilayer Structures)

ผู้เขียน:ImgKamon Aiempanakit, ImgPattana Rakkwamsuk, ImgSupattanapong Dumrongrattana

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

A high-performance transparent-electrode film with a silver-based (Ag) sandwich structure in between an ITO (tin-doped indium oxide) multilayer was deposited on a glass substrate by DC magnetron sputtering at room temperature. The optical and electrical properties of single layers of Ag and of ITO and multilayer structures of ITO/Ag/ITO (S1), ITO/Ag/ITO/Ag/ITO (S2) and ITO/Ag/ITO/Ag/ITO/ Ag/ITO (S3) were investigated by spectrophotometer and four-point probe, respectively. These properties were studied as-deposited and after annealing in a vacuum. It was found that the optical transmittance and the sheet resistance of the Ag film decreased when the film thickness increased. However, the optical transmittance of the Ag film could be enhanced by a sandwich structure composed of ITO/Ag/ ITO. The average optical transmittance in the visible and near infrared range of S1 and S2 decreased when the film systems were annealed in a vacuum. The sheet resistance of S2 was lower than that of S1 and S3 for the as-deposited process, while the sheet resistance of S1 was lower than that of S2 and S3 after annealing in a vacuum. These results depended on the characteristics of the multilayer electrodes and on structural improvements of the Ag and ITO components after annealing the films.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 043, Issue 5, Dec 09 - Dec 09, Page 365 - 371 |  PDF |  Page 

Img

ที่มา:การประชุมวิชาการมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 5 และ การประชุมวิชาการนานาชาติมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 4

หัวเรื่อง:ผลของแก๊สออกซิเจนต่ออาร์กอนต่อสมบัติเชิงแสงของฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ที่เตรียมด้วยเทคนิค ดีซี แมกนีตรอนสปัตเตอริง

Img

ที่มา:การประชุมวิชาการมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 5 และการประชุมวิชาการนานาชาติมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 4

หัวเรื่อง:ผลของแก๊สออกซิเจนต่ออาร์กอนต่อสมบัติเชิงแสงของฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ที่เตรียมด้วยเทคนิค ดีซี แมกนีตรอนสปัตเตอริง

Img

ที่มา:วิทยานิพนธ์ ปริญญาโท (จาก: บัณฑิตวิทยาลัย และ สำนักหอสมุด มก.)

หัวเรื่อง:คุณสมบัติของฟิล์มบางสังกะสีออกไซด์ที่เตรียมโดยวิธีดีซี แมกนีตรอนสปัตเตอริง

ผู้เขียน:Imgวริษา ปานเจริญ

ประธานกรรมการ:Imgนายนพปฎล สุทธิศิริ, รองศาสตราจารย์

สื่อสิ่งพิมพ์:Library Collection

Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Characterization of Indium Tin Oxide Films after Annealing in Vacuum)

ผู้เขียน:ImgKamon Aiempanakit, ImgPattana Rakkwamsuk, ImgSupattanapong Dumrongrattana

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

ITO thin films were deposited on glass substrate by dc magnetron sputtering without substrate heating. The effects of annealing in vacuum on the structural, optical and electrical properties were investigated. The samples of 120 nm ITO films were separately annealed at 200, 250, 300 and 350?C for 1 hour. The results showed that the increasing of the annealing temperatures improve the crystallinity of the films, increase the grain sizes and improve their optical and electrical properties. The optical transmission of films in the visible region increase while in the near infrared region decrease with increasing the annealing temperatures. The relative intensities I(400)/I(222) of ITO films increase but the resistivity decrease with increasing the annealing temperature. The prepared ITO film as-deposited has a resistivity of 2.47?10-3 ?.cm and decreases to 3.95?10-4 ?.cm after annealing at 350?C for 1 hour and energy gap increases from 3.99 eV to 4.10 eV.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 042, Issue 5, Dec 99 - Dec 99, Page 351 - 356 |  PDF |  Page 

Img
Img

ที่มา:คณะทรัพยากรและสิ่งแวดล้อม มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ วิทยาเขตศรีราชา

หัวเรื่อง:การศึกษาผลของความดันย่อยแก๊สออกซิเจนต่อโครงสร้างระดับนาโนและสมบัติโฟโตคะตะไลติกของฟิล์มบางไททาเนียมไดออกไซด์ ที่เคลือบด้วยด้วยเทคนิค รีแอกตีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ผู้ร่วมโครงการ:Imgดร.วิเชียร ศิริพรม, อาจารย์

Img
Img

Researcher

ดร. ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:Ultra-High Vacuum, Physics of Vacuum and Vacuum Technology, Physics of Thin Film and Thin Film Technology, Plasma Processing and Plasma Technology, Semiconductor Processing, Atomic layer deposition and Sputtering Process , Surface Chemistry, Materials for medical applications, Renewable Energy, Simulation for Gas adsorbed Surface, High Quality Thin Films

Resume

Img

Researcher

ดร. ณัฐณรัณ (สุปรียา) ตรีวิจิตรเกษม, รองศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ บางเขน

สาขาที่สนใจ:ฟิสิกส์สถานะของแข็ง

Resume

Img

Researcher

ดร. สุทธิพจน์ วงศ์ฤกษ์ดี, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์ คณะศิลปศาสตร์และวิทยาศาสตร์ กำแพงแสน

สาขาที่สนใจ:เซลล์แสงอาทิตย์ชนิดสีย้อมไวแสง (dye-sensitized solar cells), เซลล์แสงอาทิตย์ชนิดใหม่ (เพอรอฟสไกต์) (emerging solar cells; perovskite), วัสดุโครงสร้างนาโน (nanostructured materials), โฟโตคะตะลิสต์ (photocatalysts), ฟิล์มบางและการปรับปรุงพื้นผิว (thin films and surface modification)

Resume

12