Search Result of "Atomic layer deposition"

About 36 results
Img

งานวิจัย

การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-shell ลวดนาโนโดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ (2012)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ (Preproposal Research Fund)

ผลลัพธ์:วารสาร (1) ประชุมวิชาการ (3)

Img

งานวิจัย

การปลูกฟิล์มบางแกลเลี่ยมไนไตรต์ที่อุณหภูมิต่ำด้วยวิธีพลาสมา เอ็นแฮนซ์ อะตอมมิค เลเยอร์ดีพอซิชั่น (2018)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

แหล่งทุน:สำนักงานกองทุนสนับสนุนการวิจัย (สกว.)

ผลลัพธ์:ประชุมวิชาการ (1)

Img

งานวิจัย

การปลูกฟิล์มบางแกลเลี่ยมไนไตรด์ที่อุณหภูมิต่ำด้วยวิธีพลาสม่า เอนแฮนซ์ อะตอมิค เลเยอร์ ดีพอซิชั้น (2018)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

แหล่งทุน:สำนักงานพัฒนาการวิจัยการเกษตร (สวก.)
Img

งานวิจัย

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น ชื่อทุนสมทบเพื่อเสริมสร้างความเป็นเลิศ (2019)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา
Img

งานวิจัย

การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-Shell ลวดนาโน โดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ (2013)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

แหล่งทุน:ทุนอุดหนุนวิจัยมก.

ผลลัพธ์:วารสาร (1) ประชุมวิชาการ (2)

Img

งานวิจัย

การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-Shell ลวดนาโนโดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ (2012)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

แหล่งทุน:สำนักงานกองทุนสนับสนุนการวิจัย (สกว.)

ผลลัพธ์:วารสาร (1) ประชุมวิชาการ (2)

Img

งานวิจัย

การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น (2017)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ผู้ร่วมโครงการ:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

ผลลัพธ์:วารสาร (2) ประชุมวิชาการ (2)

Img

งานวิจัย

การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-Shell ลวดนาโน โดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ (2012)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

แหล่งทุน:ทุนอุดหนุนวิจัยมก.

ผลลัพธ์:วารสาร (1) ประชุมวิชาการ (1)

Img

งานวิจัย

การประดิษฐ์ก๊าซเซนเซอร์โครงสร้างแบบ Core-shell ลวดนาโนโดยใช้เทคนิค Atomic Layer Deposition เพื่อการตรวจจับก๊าซพิษ (2013)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.ชัชวาล วงศ์ชูสุข, รองศาสตราจารย์

แหล่งทุน:คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์

ผลลัพธ์:ประชุมวิชาการ (2)

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

การศึกษาเชิงคานวณของขั้นตอนการดูดซับของแก๊สอลูมิเนียมคลอไรด์ในกระบวนการอะตอมมิกซ์ เลเยอร์ ดีพอซิชั่นของฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์ (2018)

ผู้แต่ง:Imgนายพิพัฒน์ นันทจุล, Imgนายจิรเมธ ชมภูแก้ว, ImgDr.TANABAT PROMJUN, Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทร์เพ็ง, Imgอาจารย์ยุทธนา อุไรชื่น , Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขเสนา, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

The Characteristic of TMG adsorption on the Si(100)(2?1) surface in atomic layer deposition (ALD): Computational prediction of Si9H12O2GaCH3 structure

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgSeckson Sukhasena, ImgPoramate Chunpang,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Kinetic Study of Tetrakis(Dimethylamido)Titanium and Titanium Tetrachloride Adsorption on a Silicon Surface in Atomic Layer Deposition: A DFT Calculation

ผู้แต่ง:Imgนายธนบัตร พรมจันทร์, Imgธนัสถา รัตนะ, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Kinetic study on initial surface reaction of titanium dioxide growth using tetrakis(dimethylamino)titanium and water in atomic layer deposition process: Density functional theory calculation

ผู้แต่ง:Imgนายธนบัตร พรมจันทร์, ImgTanattha Rattana, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Computational Prediction of Trimethylgallium Adsorption on Si(100)(2x1) in Atomic Layer Deposition

ผู้แต่ง:Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgK. Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of HfO2 using tetrakis(ethylmethylamino)hafnium and remote plasma-excited oxidizing agents

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgHisashi Ohba, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Remote-Plasma Source Investigated by IR Absorption Spectroscopy

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgHisashi Ohba, ImgBashir Ahmmad ARIMA, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Room Temperature Atomic Layer Deposition of Gallium Oxide Investigated by IR Absorption Spectroscopy

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Growth kinetics for temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using trimethylgallium and remote-plasma-excited NH3

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgMasanori Muira, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

การประชุมวิชาการ

การศึกษาลักษณะเฉพาะเชิงคำนวณของการดูดซับแก๊สอลูมิเนียมคลอไรด์ของขั้นตอนการดูดซับในการปลูกฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์ด้วยวิธีอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น (2018)

ผู้แต่ง:Imgจิรเมธ ชมพูแก้ว, Imgพิพัฒน์ นันทจุล, Imgวศินี ชัยวงศ์, Imgอัจฉราวดี ทองดี, Imgผศ.ดร.ปรเมษฐ์ จันทรเพ็ง, Imgผศ.ดร.เสกสรร สุขะเสนา, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor,

การประชุมวิชาการ:
12