Journal

Article
การศึกษาเชิงคานวณของขั้นตอนการดูดซับของแก๊สอลูมิเนียมคลอไรด์ในกระบวนการอะตอมมิกซ์ เลเยอร์ ดีพอซิชั่นของฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์
Journal
วารสารวิทยาศาสตร์บูรพา (ISSN: 23510781)
Volume
23
Issue
3
Year
กันยายน - ธันวาคม 2018
Page
-
Class
ชาติ
DOI
-
Related Link
-