Journal

Article
Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Remote-Plasma Source Investigated by IR Absorption Spectroscopy
Journal
IEICE TRANSACTIONS on Electronics (ISSN: 18810217)
Volume
J98-C
Issue
1
Year
มกราคม 2015
Page
1-7
Class
นานาชาติ
DOI
-
Related Link
-