Journal

Article
Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor
Journal
Applied Surface Science (ISSN: 01694332)
Volume
308
Issue
-
Year
พฤษภาคม 2014
Page
328-332
Class
นานาชาติ
DOI
10.1016/j.apsusc.2014.04.166
Related Link
-