desc:
การศึกษาพฤติกรรมเชิงทฤษฎีและการทดลองของไตรเมททิลแกเลี่ยมในสถานะแก๊สและสถานะการดูดซับบนผิวซิลิกอนในกระบวนการอะตอมมิกซ์เลเยอร์ ดีพอซิชั่น