Search Result of "Magnetron sputtering"

About 41 results
Img
Img

งานวิจัย

ผลของความหนาฟิล์มต่อสมบัติต้านการกัดกร่อนของฟิล์มบางโครเมียมไนไตรด์ที่เตรียมด้วยวิธีรีแอคตีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง (2018)

หัวหน้าโครงการ:Imgดร.วิเชียร ศิริพรม, อาจารย์

ผู้ร่วมโครงการ:Imgดร.โสภณัฐ คงศรีประพันธุ์, ผู้ช่วยศาสตราจารย์, Imgมติ ห่อประทุม

แหล่งทุน:ทุนสนับสนุนวิจัยประเภทสมทบเพื่อเสริมสร้างความเป็นเลิศ คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ วิทยาเขตศรีราชา

Img
Img
Img
Img
Img
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Growth of Anatase TiO2 Thin Film for Photokilling of Bacteria by DC Reactive Magnetron Sputtering Technique

ผู้แต่ง:ImgDr.Wichian Siriprom, Lecturer, ImgNirun Witit-anun, ImgMs.Suree Thongwanitniyom, Lecturer,

วารสาร:

Img

Img
Img
Img
Img
Img
Img
Img

ที่มา:Siam Physics Congress SPC2011

หัวเรื่อง:Effect of Sputtering Power on Photocatalytic Properties of TiO2 Thin Film Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

Img

ที่มา:การประชุมวิชาการ วิทยาศาสตร์วิจัย ครั้งที่ 3

หัวเรื่อง:สมบัติทางไฟฟ้าและแสงของฟิล์มบางเงินที่เตรียมบนแผ่นกระจกรองรับด้วยเทคนิค ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง

Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Structures and Optical Properties of TiO2 Thin Films Deposited on Unheated Substrate by DC Reactive Magnetron Sputtering)

ผู้เขียน:ImgNirun Witit-anun, ImgPrasertsak Kasemanankul, ImgSurasing Chaiyakun, Imgพิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

Titanium dioxide thin films (TiO2) were deposited on unheated substrate on a glass slide and Si-wafer by the DC reactive magnetron sputtering method at different total pressures. The crystal structure, surface morphology and optical transmittance were characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and UV-VIS-NIR spectrophotometer, respectively. The deposited films were transparent and the thickness was about 133-168 nm. XRD results showed that all samples possessed a polycrystalline structure and changed from the mixed phase of anatase and rutile, to rutile phases, as the total pressure decreased. An increase in the film’s roughness was observed with increasing sputtering pressure. The optical transmission measurements revealed that the mixed phases of anatase and rutile had higher transmittance than the pure rutile phase. The refractive index, in the visible spectrum was relatively high, while the energy band gap was found to be 3.25 eV.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 043, Issue 5, Dec 09 - Dec 09, Page 340 - 346 |  PDF |  Page 

Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Structures and Optical Properties of TiO2 Thin Films Deposited on Unheated Substrate by DC Reactive Magnetron Sputtering)

ผู้เขียน:ImgNirun Witit-anun, ImgPrasertsak Kasemanankul, ImgSurasing Chaiyakun, Imgพิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

Titanium dioxide thin films (TiO2) were deposited on unheated substrate on a glass slide and Si-wafer by the DC reactive magnetron sputtering method at different total pressures. The crystal structure, surface morphology and optical transmittance were characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and UV-VIS-NIR spectrophotometer, respectively. The deposited films were transparent and the thickness was about 133-168 nm. XRD results showed that all samples possessed a polycrystalline structure and changed from the mixed phase of anatase and rutile, to rutile phases, as the total pressure decreased. An increase in the film’s roughness was observed with increasing sputtering pressure. The optical transmission measurements revealed that the mixed phases of anatase and rutile had higher transmittance than the pure rutile phase. The refractive index, in the visible spectrum was relatively high, while the energy band gap was found to be 3.25 eV.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 043, Issue 4, Oct 09 - Dec 09, Page 340 - 346 |  PDF |  Page 

Img

Researcher

ดร. วิเชียร ศิริพรม, อาจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

Resume

Img

ที่มา:การประชุมวิชาการมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 5 และ การประชุมวิชาการนานาชาติมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคล ครั้งที่ 4

หัวเรื่อง:ผลของแก๊สออกซิเจนต่ออาร์กอนต่อสมบัติเชิงแสงของฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ที่เตรียมด้วยเทคนิค ดีซี แมกนีตรอนสปัตเตอริง

123