Search Result of "DC reactive magnetron sputtering"

About 12 results
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Growth of Anatase TiO2 Thin Film for Photokilling of Bacteria by DC Reactive Magnetron Sputtering Technique

ผู้แต่ง:ImgDr.Wichian Siriprom, Lecturer, ImgNirun Witit-anun, ImgMs.Suree Thongwanitniyom, Lecturer,

วารสาร:

Img

Img
Img
Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Structures and Optical Properties of TiO2 Thin Films Deposited on Unheated Substrate by DC Reactive Magnetron Sputtering)

ผู้เขียน:ImgNirun Witit-anun, ImgPrasertsak Kasemanankul, ImgSurasing Chaiyakun, Imgพิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

Titanium dioxide thin films (TiO2) were deposited on unheated substrate on a glass slide and Si-wafer by the DC reactive magnetron sputtering method at different total pressures. The crystal structure, surface morphology and optical transmittance were characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and UV-VIS-NIR spectrophotometer, respectively. The deposited films were transparent and the thickness was about 133-168 nm. XRD results showed that all samples possessed a polycrystalline structure and changed from the mixed phase of anatase and rutile, to rutile phases, as the total pressure decreased. An increase in the film’s roughness was observed with increasing sputtering pressure. The optical transmission measurements revealed that the mixed phases of anatase and rutile had higher transmittance than the pure rutile phase. The refractive index, in the visible spectrum was relatively high, while the energy band gap was found to be 3.25 eV.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 043, Issue 4, Oct 09 - Dec 09, Page 340 - 346 |  PDF |  Page 

Img

ที่มา:Siam Physics Congress SPC2011

หัวเรื่อง:Effect of Sputtering Power on Photocatalytic Properties of TiO2 Thin Film Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

Img

Researcher

ดร. โสภณัฐ คงศรีประพันธุ์, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:Organic synthesis, Natural Product, Degadation of organic compound

Resume

Img

ที่มา:วิทยาสารเกษตรศาสตร์ สาขา วิทยาศาสตร์

หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Structures and Optical Properties of TiO2 Thin Films Deposited on Unheated Substrate by DC Reactive Magnetron Sputtering)

ผู้เขียน:ImgNirun Witit-anun, ImgPrasertsak Kasemanankul, ImgSurasing Chaiyakun, Imgพิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

สื่อสิ่งพิมพ์:pdf

Abstract

Titanium dioxide thin films (TiO2) were deposited on unheated substrate on a glass slide and Si-wafer by the DC reactive magnetron sputtering method at different total pressures. The crystal structure, surface morphology and optical transmittance were characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and UV-VIS-NIR spectrophotometer, respectively. The deposited films were transparent and the thickness was about 133-168 nm. XRD results showed that all samples possessed a polycrystalline structure and changed from the mixed phase of anatase and rutile, to rutile phases, as the total pressure decreased. An increase in the film’s roughness was observed with increasing sputtering pressure. The optical transmission measurements revealed that the mixed phases of anatase and rutile had higher transmittance than the pure rutile phase. The refractive index, in the visible spectrum was relatively high, while the energy band gap was found to be 3.25 eV.

Article Info
Agriculture and Natural Resources -- formerly Kasetsart Journal (Natural Science), Volume 043, Issue 5, Dec 09 - Dec 09, Page 340 - 346 |  PDF |  Page 

Img
Img

ที่มา:การประชุมวิชาการ ครั้งที่ 47 มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์

หัวเรื่อง:โครงสร้างและสมบัติทางแสงของฟิล์มบางไททาเนียมไดออกไซด์ซึ่งเคลือบบนวัสดุรองรับที่ไม่ให้ความร้อน ด้วยวิธี ดีซี รีแอคตีฟ แมกนีตรอน สปัตเตอริง

Img

Researcher

นางสาว สุรีย์ ทองวณิชนิยม, อาจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:ชีววิทยาประยุกต์

Resume

Img
Img

Researcher

ดร. วิเชียร ศิริพรม, อาจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ศรีราชา

Resume